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Positionierung und Bausysteme
Positionsauflösung unter der Lupe
12.02.2009 - Photonik 1/2009 |
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Die Auflösung und das Positionsrauschen von Piezoaktoren werden vor allem durch die Treiberelektronik bestimmt. Die Werte werden daher üblicherweise anhand von Näherungsformeln angegeben. In einer Studie wurden nun diese Zusammenhänge mit einem Rasterkraftmikroskop beispielhaft untersucht.
Photonik 1/2009
Autor(en): Daniel Keller, Jens Erben, piezosystem jena GmbH, Jena
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